旋轉(zhuǎn)型等離子低溫灰化儀VP-TA2采用一種旋轉(zhuǎn)型不銹鋼等離子表面處理裝置技術(shù),解決了煤粉低溫灰化的三個難點:1.灰化過程中旋轉(zhuǎn)腔溫度低,不破壞煤灰中礦物成分與結(jié)構(gòu)的完整性;2.旋轉(zhuǎn)腔在真空環(huán)境旋轉(zhuǎn),帶動煤粉翻滾,對煤粉的灰化均勻且充分;3.自動化程度高,可全自動連續(xù)運(yùn)行48小時以上,無需人工干預(yù)。VP-TA2旋轉(zhuǎn)腔容積2升,樣品腔不銹鋼材質(zhì),兩路進(jìn)氣,中英文觸摸屏操作控制,頻率13.56MHz,功率400W,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運(yùn)行3分鐘,腔體溫度不高于45℃,不損傷樣品,適用于煤低溫灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料PLASMA處理。
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